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选用水环真空泵机组的九大要求
日期:[2018-10-31 10:06:26]   文章录入:www.zbzhenkongjizu.com   共阅[1788]次
  水环真空泵机组在使用时除了要注意它的使用事项之外,还需要注意它的使用步骤,为了能够更好的使用该产品,我们需要对它的使用要求有个大体的了解,除了能够对产品更加的了解之外,我们也可以更好的使用它,那么今天我们就它的使用要求来给大家做一个简单的介绍。
  1、水环真空泵机组的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
  2、正确地选择工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
  3、水环真空泵机组在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
  4、正确地组合。由于它有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置获得较好的真空度。另外,有的不能在大气压下工作,需要预真空;有的出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
  5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
  6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择水环真空泵机组时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
  7、水环真空泵机组排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油的产品,或者把油蒸气排到室外。
  8、它在工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
  9、它的价格、运转及维修费用。
  水环真空泵机组的使用要求,我们简单的为大家整理了以下几点事项,主要就是希望大家能够在使用该产品的时候能够更好的掌握一些技术要求,也能很好的避免了一些问题的产生,这样既保证了工作效率,也提高了其使用寿命,何乐而不为呢?
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