真空泵机组是以罗茨泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而组合成的。但并不代表这两种泵随便拿来就可以组合起来使用的，只有达到一定要求才能使这两种泵组成机组。组成条件如下：
　　前级泵的作用是降低罗茨泵的真空排出压力，使进、排气压差和压缩比控制在一定范围内。由于罗茨泵的压缩比是有限的，所以选择抽速很重要。罗茨泵的压缩比试随排除压力的变化而变化的，在高排出压力下，压缩比为3:1，而压缩比是在排除压力为1到10mbar之间可达40:1，甚至更高些。
　　选择前级泵的抽速，要根据真空泵机组长期工作压力范围来考虑。另外应当考虑的是，对预抽时间长短的需求问题。如果工作时间比预抽时间长，可选较小的前级泵；
　　假如真空室较大，而且要求很快到达预抽真空度，就要用较大的前级泵。需要注意的是罗茨泵实际运行时的时差不得超过其允许差值，一般建议控制在75%以下，否则造成真空泵机组过热、过载或咬死等情况。
　　对于真空泵机组的选择需要从组成的主泵与辅助泵的使用条件来考虑，使其不仅能够适用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体，而且还能应用于需要大抽速和高真空的各种真空系统中。